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【代表人士】民革西电支部张玉明教授牵头项目获2023年度陕西省科学技术奖技术发明一等奖

来源: 时间:2024-04-16点击数:

近日,陕西省人民政府发布《陕西省人民政府关于2023年度陕西省科学技术奖励的决定》,省人大代表、民革陕西省委副主委、民革西电支部主委张玉明教授牵头完成的项目“高压低功耗碳化硅功率器件关键技术及应用”获得技术发明一等奖。

项目“高压低功耗碳化硅功率器件关键技术及应用”针对SiC功率器件攻克了高击穿电压电场调制与芯片终端保护技术,发明了凹槽辅助场限制环场调制技术、新型“高频刻蚀”工艺和多层掩模多步刻蚀技术,研制了终端击穿效率达到90%、具有高稳健性的SiC超高压功率器件;攻克了高功率密度SiC芯片设计与工艺技术,实现特征导通电阻低至4mΩ‧cm2的SiC MOSFET器件及高效率SiC超级结功率器件,有效提升了器件功率密度;攻克了长寿命、高可靠性SiC芯片关键技术,建立了L型围栅场调制、双区浮动结调制技术及终端电场区域陷阱电荷俘获和发射机制模型,有效解决了器件氧化层失效问题,为实现高稳定击穿特性奠定了理论基础。


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